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優(yōu)可測AM8000白光干涉儀發(fā)布:亞納米級精度,助力中國制造攀登高峰

優(yōu)可測公司近日正式推出了其全新旗艦產(chǎn)品——白光干涉儀AM8000,該產(chǎn)品在完成上海慕尼黑光博會的內(nèi)部客戶體驗會后,備受矚目。這款干涉儀的測量精度達到了亞納米級別,能夠精確獲取各種精密零件及材料表面的3D形貌,測量精度小于1nm。

AM8000在應用場景、智能化操作以及測量穩(wěn)定性方面,均展現(xiàn)出了與世界頂級品牌旗艦產(chǎn)品相媲美的實力。這一突破標志著中國品牌在高精度白光干涉測量領域取得了核心技術上的重大進展,為中國智能制造產(chǎn)業(yè)的發(fā)展注入了新的動力。

在適配鏡頭與測量樣品方面,AM8000展現(xiàn)了其卓越的性能。與市面上常見的短焦距、小視野鏡頭不同,AM8000支持更多倍率的鏡頭,包括1X的長焦距、大視野鏡頭,其單視野可達18×11mm,能夠很好地滿足大范圍測量的需求。5X和10X的長焦距鏡頭,焦距分別可達40mm和22mm,能夠?qū)崿F(xiàn)對噴油嘴等大孔深樣品的測量。鏡頭的多樣化選擇,使得AM8000能夠滿足更多特殊零件的測量需求。

在硬件配置上,AM8000搭載了4自由度直驅(qū)電控平臺,其XY行程最大可達300mm,負載能力提升2.5倍,移動拼接速度提升30%,定位精度提升3倍。電控平臺在實現(xiàn)大行程的同時,仍能保持運動直線度達到±1um,角擺≤5角秒。AM8000還可加裝旋轉(zhuǎn)平臺,滿足晶圓Mapping測量的需求。

AM8000在智能化操作方面也表現(xiàn)出色。其新增的循環(huán)測量、批量導出測量報告、對焦曲線、提取評比ROI等功能,以及超過300種測量工具,如面粗糙度、輪廓分析、紋理方向、粒子分析等,能夠更好地滿足各行業(yè)的應用需求。AM8000還推出了“PreciTrack條紋自動對焦”和“EquiDrive自動調(diào)平”功能,分別能在5秒內(nèi)完成對焦和調(diào)平,大大提高了操作效率。

在大尺寸零件測量方面,AM8000擁有豐富的拼接方式,如方環(huán)形、圓形、圓環(huán)形等,工程師只需輸入數(shù)值,即可自動生成所需的拼接區(qū)域。在樣品批量測量時,AM8000支持多點位的編程測量,能夠基于樣品位置自動跑位進行測量,無需每次手動放置樣品。AM8000還增加了控制器模塊,將平臺移動、光源調(diào)節(jié)、調(diào)焦等功能集成到控制器上,一鍵即可完成常規(guī)操作,提高了50%的工作效率。

在測量穩(wěn)定性方面,AM8000采用了內(nèi)置式氣浮緩沖機構和獨創(chuàng)的低重心設計,將整個隔振機構和工作臺包裹住,大幅降低了環(huán)境振動對設備的影響。經(jīng)過測試,AM8000的隔振穩(wěn)定性提升了2.7倍,RMS重復性可達0.0041nm。

AM8000還配置了5000um大量程壓電陶瓷和500萬像素高速相機,配合行業(yè)首創(chuàng)的SST+GAT算法,支持PSI(相移掃描)+VSI(垂直掃描),能夠瞬間完成亞納米級數(shù)據(jù)采集。這使得AM8000在新能源、汽車、3C電子、半導體、精密光學、微納加工、醫(yī)療器械、摩擦磨損等領域有著廣泛的應用前景。

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